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医療、食品、農業など、さまざまな分野で機能水が注目され始めている。中でも、半導体洗浄においては、一部システムに組み込まれ、研究開発も進んでいる。本書では、地球環境の保全が重要な課題となる昨今、あらたな可能性を秘めた機能水を幅広く取り上げ、さまざまな洗浄技術の改善に役立つ入門書を目指す。
目次 :第1章 機能水とは;第2章 機能水の分類;第3章 各種分野における機能水の利用;第4章 機能水の利用事例;第5章 水の活性化とこれからの機能水
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